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服務(wù)范圍：司致力于真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展和相關(guān)儀器設(shè)備的研制,主要產(chǎn)品有各類(lèi)薄膜制備設(shè)備(電阻蒸發(fā)鍍膜、電子束蒸發(fā)鍍膜、磁控濺射鍍膜、離子束濺射鍍膜等)、物理化學(xué)氣相沉積設(shè)備(pecvd、mocvd、pld、cvd、lpp等)、真空熱處理設(shè)備(退火爐、釬焊爐、擴(kuò)散焊爐等)、真空排氣臺(tái)設(shè)備、空間環(huán)境模擬設(shè)備、同步光輻射光束線各類(lèi)相關(guān)設(shè)備、冶金設(shè)備、分析測(cè)試儀器、真空靶室設(shè)備、用戶制定各類(lèi)真空設(shè)備、真空閥門(mén)、真空器件以及各種非標(biāo)設(shè)備等,重點(diǎn)承擔(dān)我國(guó)科研機(jī)構(gòu)與大專院校所使用的真空科學(xué)儀器的研制與開(kāi)發(fā)任務(wù)。

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